RFスパッタ装置

区分

設備

分類

材料加工機器類

メーカー

（株）東栄科学産業

型式

SPT-4STD

仕様及び性能

排気系：ターボ分子ポンプ350l/sec
RF出力：500W
ターゲット寸法：φ4インチ
基板サイズ：最大φ75×0.5tmm

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。

用途

スパッタリングによる金属薄膜等の成膜

導入年

2003年 

画像

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料金

3550円/時間

設置場所

福島県ハイテクプラザ（郡山）

予約・連絡先

024-954-4962

備考

県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。