イオンミリング装置

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
（株）日立ハイテクノロジーズ
型式
IM4000Plus
仕様及び性能
使用ガス：アルゴンガス
加速電圧：0〜6kV
最大試料サイズ：
φ50×25（H） mm 平面ミリング
20（W）×12（D）×7（H） mm 断面ミリング
　
※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
試料にアルゴンイオンビームを照射し、スパッタエッチングにより最表層の汚れや付着物、変質層を除去することができます。設定により断面作製も可能です。SEM観察や高倍率の顕微鏡観察の前処理に適します。
導入年
2015年 
画像
料金
4040円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ（郡山）
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。