スパッタリング装置

区分

設備

分類

材料加工機器類

メーカー

日本電子（株）

型式

JUC5000

仕様及び性能

方式：マグネトロン式
ターゲット：Pt

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。

用途

電子顕微鏡観察の際に、非導電性試料へ金属の薄膜をコーティングする

導入年

1992年 

画像

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料金

200円/時間

設置場所

福島県ハイテクプラザ（郡山）

予約・連絡先

024-959-1738

備考

県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。