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（（公財）ＪＫＡ補助事業）「エックス線光電子分光装置」導入のお知らせ
このたび、公益財団法人ＪＫＡ平成３０年度補助事業「公設工業試験研究所における機械等設備拡充補助事業」によりエックス線光電子分光装置がハイテクプラザに整備されましたので、御案内いたします。装置の用途
本システムは、サーベイスペクトル測定、任意の元素を指定しての高分解能ナロースペクトル測定、深さ方向分析、角度分解分析、マッピング測定が可能なマイクロフォーカスタイプのXPSシステムです。
本システムでは、半導体、金属合金、セラミックス、ガラス、ポリマー、磁性材料および絶縁体の固体、粉末または薄膜試料の自動分析が可能です。
応 用 例 ①変色部の組成分析
②金属表面の酸化状態の評価
③接着剥離や接合不良の原因調査
④コーティングや光学多層膜の層構成調査
⑤材料表面の元素分布の観察
など。
装置の仕様概要
１ 装置形式
サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社（株）製 K-Alpha
２ 装置仕様
エックス線源：モノクロAl（Kα線）、マイクロフォーカスタイプ（最少スポット50um）
測定エネルギー範囲：5eV〜1500 eV
エネルギー分解能：Ag3d5/2で0.5eV以下
測定モード：サーベイスペクトル、ナロースペクトル、深さ方向、角度分解、マッピング
最大試料寸法：60mm×60mm×20mm
利用料金
平成31年4月設定予定 （詳しくは担当までお問い合わせください。）
お問い合わせ先
ハイテクプラザ 技術開発部 工業材料科
TEL：024-959-1737 FAX：024-959-1761
備 考
機器紹介パンフレット
機器を利用されたい方は担当までお問い合わせください。
（公財）ＪＫＡは、機械工業の振興や社会福祉公益増進に関する取り組みの一環として補助事業を行っています。ハイテクプラザ（郡山）では、この事業を活用し、県内で盛んな電子機器関連産業のほか、自動車関連産業や再生可能エネルギー関連産業など幅広い産業分野における品質向上・開発促進を目的としてエックス線光電子分光装置を整備しました。
技術相談は、